TY -
GEN
AU - Fritzsche, Ronny
AU - Mehring, Michael
AU - Mehring, Michael
AU - Lang, Heinrich
TI -
Einsatz von Methylcyclopentadienyl-substituierten Silanen und Germanen zur Synthese verbrückter Heterozyklen und zur Abscheidung von dünnen Germaniumschichten
PB - Universitätsbibliothek Chemnitz
KW - Chemische Synthese
KW - Silane
KW - Germanium
KW - Germane
KW - Silicium
KW - Cyclopentadien
KW - CVD-Verfahren
KW - Dünne Schicht
KW - Zyklus
KW - Cyclopentadienyl
KW - Heterozyklen
KW - AP-MOCVD
KW - dünne Schichten
KW - silanes
KW - silicon
KW - germanium
KW - germanes
KW - cyclopentadienyle
KW - heterocycles
KW - thin films
PY - 2017
CY - Chemnitz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -