TY - GEN
AU - Persaud, Arun
TI - Aligned ion implantation using scanning probes
KW - Quantencomputer ; Rastersondenmikroskop ; Dotierter Halbleiter
KW - Hochschulschrift
PY - 2007
N2 - Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2006
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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