TY - GEN
AU - Spanier, Gerd
TI - Entwicklung und Optimierung von HF-Mikrofederkontaktelementen zur temporären Kontaktierung von Mikrosystemkomponenten
KW - Kantilever ; Mikrosystemtechnik ; Flip-Chip-Technologie ; Time domain reflectometry ; LIGA-Verfahren
KW - Hochschulschrift
PY - 2007
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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