TY -
GEN
AU - DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
AU - German Commission for Electrical, Electronic and Information Technologies of DIN and VDE
AU - DIN Deutsches Institut für Normung e. V.
AU - DIN German Institute for Standardization
TI -
DIN EN 62047-17
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015
ET - 2015-12-00
PB - Beuth Verlag
KW - Teilungsmaß
KW - Halbleiterbauelement
KW - Prüfung
KW - Prüfverfahren
KW - Sachmittel
KW - Begriffe
KW - Basismaterial
KW - Ausgangsstoff
KW - Prüfen
KW - Ausbuchtung
KW - Dünnschichttechnik
KW - Dimension
KW - mechanische Prüfung
KW - Definition
KW - Stoff
KW - Grundwerkstoff
KW - Dünnfilm
KW - Wölbung
KW - Trägerwerkstoff
KW - Werkstoffprofil
KW - dünne Schicht
KW - Abmessung
KW - Maß
KW - Dünnfilm-Betriebsmittel
KW - mechanische Eigenschaft
KW - Material
KW - Dünnschicht
KW - Probe
KW - mechanische Stoffeigenschaft
KW - Systemtechnik
KW - Mikrosystemtechnik
KW - Mikroelektronik
KW - Werkstoff
KW - Trägermaterial
KW - Elektrotechnik
KW - Base materials
KW - Mechanical testing
KW - Prominences
KW - Bulges
KW - Thin-film devices
KW - Semiconductor devices
KW - Mechanical properties of materials
KW - Samples
KW - Thin-film technology
KW - Microelectronics
KW - System engineering
KW - Mechanical properties
KW - Materials
KW - Testing
KW - Microsystem techniques
KW - Definitions
KW - Electrical engineering
KW - Dimensions
KW - Thin films
KW - Echantillon
KW - Essai
KW - Matière première
KW - Matériau
KW - Matière
KW - Microélectronique
KW - Etoffe
KW - Dispositif semi-conducteur
KW - Couche mince
KW - Matériau de base
KW - Définition
KW - Microélectromécanique
KW - Propriété mécanique de la matière
KW - Technologie à couche mince
KW - Substance
KW - Matériaux
KW - Dimension
KW - Dispositif à couche mince
KW - Proéminence
KW - Essai mécanique
KW - Systèmes
KW - Electrotechnique
KW - Propriété mécanique
PY - 2015-12-00
N2 - Internationale Übereinstimmung mit: EN 62047-17 (2015-07) - identisch; IEC 62047-17 (2015-03) - identisch
BT - DIN-Regelwerk
BT - Deutsche Normen
CY - Berlin
CY - Wien
CY - Zürich
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -