TY -
GEN
AU - DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
AU - German Commission for Electrical, Electronic and Information Technologies of DIN and VDE
AU - DIN Deutsches Institut für Normung e. V.
AU - DIN German Institute for Standardization
TI -
DIN EN 62047-26
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen (IEC 62047-26:2016); Deutsche Fassung EN 62047-26:2016
ET - 2016-12-00
PB - Beuth Verlag
KW - Teilungsmaß
KW - Messung
KW - Halbleiterbauelement
KW - Beschreibung
KW - Prüfung
KW - Prüfverfahren
KW - Sachmittel
KW - Begriffe
KW - Basismaterial
KW - Ausgangsstoff
KW - Prüfen
KW - Dünnschichttechnik
KW - Messverfahren
KW - Dimension
KW - Definition
KW - Stoff
KW - Grundwerkstoff
KW - Mikrogefüge
KW - Dünnfilm
KW - Trägerwerkstoff
KW - Werkstoffprofil
KW - dünne Schicht
KW - Abmessung
KW - Maß
KW - Mikrostruktur
KW - Dünnfilm-Betriebsmittel
KW - Material
KW - Dünnschicht
KW - Messwesen
KW - Systemtechnik
KW - Mikrosystemtechnik
KW - Mikroelektronik
KW - Werkstoff
KW - Trägermaterial
KW - Elektrotechnik
KW - Base materials
KW - Descriptions
KW - Measurement
KW - Thin-film devices
KW - Semiconductor devices
KW - Thin-film technology
KW - Measuring techniques
KW - Microelectronics
KW - System engineering
KW - Materials
KW - Microstructure
KW - Testing
KW - Microsystem techniques
KW - Definitions
KW - Electrical engineering
KW - Dimensions
KW - Thin films
KW - Essai
KW - Matière première
KW - Mesurage
KW - Matériau
KW - Matière
KW - Microstructure
KW - Description
KW - Microélectronique
KW - Etoffe
KW - Dispositif semi-conducteur
KW - Mesurage, essai et instruments
KW - Couche mince
KW - Matériau de base
KW - Métrologie
KW - Définition
KW - Microélectromécanique
KW - Technologie à couche mince
KW - Substance
KW - Metrologie
KW - Matériaux
KW - Dimension
KW - Dispositif à couche mince
KW - Technique de mesure
KW - Méthode de mesure
KW - Systèmes
KW - Electrotechnique
PY - 2016-12-00
N2 - Internationale Übereinstimmung mit: EN 62047-26 (2016-04), IDT*IEC 62047-26 (2016-01), IDT
BT - DIN-Regelwerk
BT - Deutsche Normen
CY - Berlin
CY - Wien
CY - Zürich
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -