TY - GEN
AU - Yun, Jong-Ho
AU - Kim, Hyun-Su
AU - Jung, Sug-Woo
AU - Jung, Eunji
AU - Kim, Se-Hoon
AU - Kim, B.-H
AU - Choi, Gilheyun
AU - Kim, Sungtae
AU - Chung, U-In
AU - Moon, Joo-Tae
TI - Highly Scalable PVD/CVD-Cobalt Bilayer Salicidation Technology for sub-50nm CMOSFETs
PB - The Electrochemical Society
SN - 2151-2043
KW - General Medicine
PY - 2006
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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