TY -
GEN
AU - Schier, M.
AU - Eck, S.
AU - Bolz, A.
AU - Schaldach, M.
TI -
Charakterisierung mikrokristalliner Siliziumkarbidschichten für Dünnschichtwiderstände
PB - Walter de Gruyter GmbH
SN - 0013-5585
SN - 1862-278X
KW - Biomedical Engineering
PY - 2009
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -