Schladitz, Katja
[Author];
Höhn, Sören
[Author];
Kübel, Christian
[Author];
Thiele, Simon
[Author];
Mücklich, Frank
[Author]
;
Fraunhofer-Gesellschaft,
Karlsruher Institut für Technologie,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Universität des Saarlandes Lehrstuhl für Funktionswerkstoffe