author = { Stegner, Johannes Technische Universität Ilmenau Hein, Matthias AND Müller, Jens AND Fischer, Georg },

title = { Multiphysikalischer Entwurf hybrid-integrierter MEMS-Oszillatoren auf Silizium-LTCC-Substraten },

publisher = {Universitätsbibliothek},

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keywords = { Hochschulschrift , MEMS , Integrierte Schaltung , Oszillator , Resonator },

year = {[2020?]},

year = {, 06.05.2020},

abstract = {Tag der Verteidigung 31.01.2020},

address = { Ilmenau , ; Ilmenau },

url = { https://katalog.slub-dresden.de/en/?cHash=a8fa44d3bda0cb9d524c2f0ab6715df9&tx_find_find%5Baction%5D=citation&tx_find_find%5Bcontroller%5D=Search&tx_find_find%5Bid%5D=0-1697274226&tx_find_find%5Btype%5D=bibtex }