author = { Malguth, E. AND Kaspari, C. AND Haberland, Kolja LayTec AG Blank, Volker },

title = { In-situ-Kontrolle von Epitaxie und Plasmaprozessen für die Herstellung von UV-LEDs; Verbundvorhaben: "UV Power"; Teilprojekt 4 Projekt-Abschlussbericht Zwanzig20 - Advanced UV for Life : Projektlaufzeit: 01.02.2017-30.09.2021 },

publisher = {LayTec},

keywords = { Forschungsbericht },

year = {[2021?]},

abstract = {Förderkennzeichen BMBF 03ZZ0134D},

abstract = {Verbundnummer 01175455},

address = { [Berlin] },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }