author = { Seidel, Sarah Technische Universität Bergakademie Freiberg Heitmann, Johannes AND Vescan, Andrei },

title = { Ternäre Oxide zur Passivierung von GaN-basierten elektronischen Bauelementen },

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keywords = { Hochschulschrift , Galliumnitrid , Elektronisches Bauelement , Oxide , Ternäre Verbindungen , Gadolinium , Scandium , Aluminium , Titan , Ätzen , Kristallisation , Photoelektronenspektroskopie },

year = {2023},

abstract = {Literaturverzeichnis: Seite 121-137},

abstract = {Volltext: PDF},

abstract = {Tag der Verleihung: 11. November 2022},

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