author = { Stauffenberg, Jaqueline Technische Universität Ilmenau Manske, Eberhard AND Zöllner, Jens-Peter AND Gotszalk, Teodor Paweł },

title = { Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100) },

publisher = {Universitätsbibliothek},

keywords = { Fertigungsmesstechnik , Nanometerbereich , Nanostruktur , Rasterkraftmikroskopie , Lithografie , Hochschulschrift , Lithografie Halbleitertechnologie },

year = {[2024?]},

abstract = {Tag der Verteidigung: 15.02.2024},

address = { Ilmenau },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }