author = { Reuter, Danny },

title = { Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen },

publisher = {Universitätsverlag Chemnitz},

isbn = {9783941003071},

keywords = { Hochschulschrift , Dünnschichttechnik , Verkappen , Mikrostruktur , Opferschicht , Polymere , PECVD-Verfahren },

year = {2009},

address = { Chemnitz },

url = { https://katalog.slub-dresden.de/en/?cHash=a8fa44d3bda0cb9d524c2f0ab6715df9&tx_find_find%5Baction%5D=citation&tx_find_find%5Bcontroller%5D=Search&tx_find_find%5Bid%5D=0-614317541&tx_find_find%5Btype%5D=bibtex }