author = { Liske, Romy },

title = { Die Kinetik der elektrochemischen Kupferabscheidung in Sub-100-nm-Strukturen },

publisher = {Fraunhofer-Verl.},

isbn = {3839602823},

isbn = {9783839602829},

keywords = { Hochschulschrift , Leiterbahn , Kupfer , Galvanische Abscheidung , Nanoelektronik },

year = {2011},

address = { Stuttgart },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }