@misc
{TN_libero_mab2,
author = {
Weiland, Larg H.
},
title = {
Prozeßbegleitende Bestimmung von Defektdichten in hochintegrierten Schaltungen
},
publisher = {KIT-Bibliothek, Karlsruhe},
keywords = {
DATA processing & computer science
},
year = {1998-01-01},
abstract = {Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.},
url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
}
}