author = { Qiu, Depeng Rau, Uwe AND Vescan, Andrei },

title = { Development of industry-scalable processes for nanocrystalline silicon oxide in silicon heterojunction solar cells },

publisher = {Universitätsbibliothek der RWTH Aachen},

keywords = { Dünne Schicht , Heterosolarzelle , PECVD-Verfahren , Silicium , Dünnschichtsolarzelle , Siliciumoxide },

year = {2023},

booktitle = {Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2023 (Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Energie & Umwelt = Energy & environment; 619)},

address = { Aachen },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }