author = { Spanier, Gerd },

title = { Entwicklung und Optimierung von HF-Mikrofederkontaktelementen zur temporären Kontaktierung von Mikrosystemkomponenten },

keywords = { Kantilever ; Mikrosystemtechnik ; Flip-Chip-Technologie ; Time domain reflectometry ; LIGA-Verfahren , Hochschulschrift },

year = {2007},

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }