author = { DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE AND German Commission for Electrical, Electronic and Information Technologies of DIN and VDE AND DIN Deutsches Institut für Normung e. V. AND DIN German Institute for Standardization },

title = { DIN EN 62047-26 Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen (IEC 62047-26:2016); Deutsche Fassung EN 62047-26:2016 },

edition = { 2016-12-00 } ,

publisher = {Beuth Verlag},

keywords = { Teilungsmaß , Messung , Halbleiterbauelement , Beschreibung , Prüfung , Prüfverfahren , Sachmittel , Begriffe , Basismaterial , Ausgangsstoff , Prüfen , Dünnschichttechnik , Messverfahren , Dimension , Definition , Stoff , Grundwerkstoff , Mikrogefüge , Dünnfilm , Trägerwerkstoff , Werkstoffprofil , dünne Schicht , Abmessung , Maß , Mikrostruktur , Dünnfilm-Betriebsmittel , Material , Dünnschicht , Messwesen , Systemtechnik , Mikrosystemtechnik , Mikroelektronik , Werkstoff , Trägermaterial , Elektrotechnik , Base materials , Descriptions , Measurement , Thin-film devices , Semiconductor devices , Thin-film technology , Measuring techniques , Microelectronics , System engineering , Materials , Microstructure , Testing , Microsystem techniques , Definitions , Electrical engineering , Dimensions , Thin films , Essai , Matière première , Mesurage , Matériau , Matière , Microstructure , Description , Microélectronique , Etoffe , Dispositif semi-conducteur , Mesurage, essai et instruments , Couche mince , Matériau de base , Métrologie , Définition , Microélectromécanique , Technologie à couche mince , Substance , Metrologie , Matériaux , Dimension , Dispositif à couche mince , Technique de mesure , Méthode de mesure , Systèmes , Electrotechnique },

year = {2016-12-00},

abstract = {Internationale Übereinstimmung mit: EN 62047-26 (2016-04), IDT*IEC 62047-26 (2016-01), IDT},

booktitle = {DIN-Regelwerk},

booktitle = {Deutsche Normen},

address = { Berlin , Wien , Zürich },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }