author = { Schier, M. AND Eck, S. AND Bolz, A. AND Schaldach, M. },

title = { Charakterisierung mikrokristalliner Siliziumkarbidschichten für Dünnschichtwiderstände },

publisher = {Walter de Gruyter GmbH},

isbn = {0013-5585},

isbn = {1862-278X},

keywords = { Biomedical Engineering },

year = {2009},

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }