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Schienbein, Ralf [Author] ; Füßl, Roland [Degree supervisor]; Latyev, Svjatoslav M. [Degree supervisor]; Theska, René [Other]Grundlegende Untersuchungen zum konstruktiven Aufbau von Fünfachs-Nanopositionier- und NanomessmaschinenView onlineClose
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You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this.Ilmenau: Universitätsverlag Ilmenau, 2020
Published in: Berichte aus dem Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion (IMGK) ; 37