%0 Book
%T Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen
%A Hoche, Jens
%I Shaker
%@ 3826574133
%K Hochschulschrift
%K Mikromechanik
%K Siliciumbauelement
%K Trockenätzen
%K Fotolithografie Halbleitertechnologie
%K Prozessoptimierung
%K Plasmaätzen
%D 2000
%C Shaker
%C Aachen
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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