%0
Book
%T
Schichtdickenmessung
mit 43 Tabellen
%A Herrmann, Diethard
%I Oldenbourg
%@ 3486222031
%K Thickness measurement
%K Thin films Measurement
%K Schichtdicke
%K Dickenmessung
%D 1993
%X Literaturverz. S. [343] - 350
%C Oldenbourg
%C München [u.a.]
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2