%0 Book
%T On thermal oxidatio of silicon in steam
%A Leppihalme, Matti
%A Leppävuori, Seppo
%A Malmelin, M.
%I Valtion teknillinen tutkimuslaitos
%D 1970
%C Valtion teknillinen tutkimuslaitos
%C Helsinki
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation