%0 Book
%T Herstellung und Untersuchung von Halbleiterbauelementen mit dem Rasterkraftmikroskop
%A Wendel, Martin
%I Diss.-Verl. NG-Kopierladen
%@ 3928536729
%K Hochschulschrift
%K Halbleiterbauelement
%K Rasterkraftmikroskopie
%D 1997
%C Diss.-Verl. NG-Kopierladen
%C München
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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