%0 Generic
%T Metallstrukturierung und Dotierung mit Elementen der III.-Hauptgruppe auf Siliziumsubstraten mit Hilfe von Laser-chemischen Prozessen
%A Lieder, Martin
%K Hochschulschrift
%K Laserchemie
%K Silicium
%K Mikromechanik
%K Metallbearbeitung
%K Solarzelle
%K Borverbindungen
%D 2016
%C Freiburg im Breisgau
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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