%0 Generic
%T Growth monitoring of ultrathin copper and copper oxide films deposited by atomic layer deposition = Untersuchungen zum Wachstum ultradünner Kupfer- und Kupferoxid Schichten mittels Atomlagenabscheidung
%A Dhakal, Dileep
%K Kupfer
%K Kupferoxide
%K Metallisierungsschicht
%K Reduktion
%K ULSI
%K Hochschulschrift
%D [2016]
%C Chemnitz
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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