%0 Generic
%T Spektralphotometrie und zeitaufgelöste Laserphotometrie für den VUV-Spektralbereich
%A Leiterer, Jork
%A Friedrich-Schiller-Universität Jena
%A Heber, Jörg
%A Richter, Wolfgang
%A Kowarschik, Richard
%K Hochschulschrift
%K Gaslaser
%K Spektralfotometrie
%K Vakuumultraviolett
%K Kontamination
%K Reinigung
%K Excimerlaser
%D [2003?]
%C Jena
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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