%0 Generic
%T Tip- and laser-based 3D nanofabrication in extended macroscopic working areas
%A Ortlepp, Ingo
%A Fröhlich, Thomas
%A Füßl, Roland
%A Reger, Johann
%A Schäffel, Christoph
%A Sinzinger, Stefan
%A Strehle, Steffen
%A Theska, René
%A Zentner, Lena
%A Zöllner, Jens-Peter
%A Rangelow, Ivo W.
%A Reinhardt, Carsten
%A Hausotte, Tino
%A Cao, Xinrui
%A Dannberg, Oliver
%A Fern, Florian
%A Fischer, David
%A Gorges, Stephan
%A Hofmann, Martin
%A Kirchner, Johannes
%A Meister, Andreas
%A Sasiuk, Taras
%A Schienbein, Ralf
%A Supreeti, Shraddha
%A Mohr-Weidenfeller, Laura
%A Weise, Christoph
%A Reuter, Christoph
%A Stauffenberg, Jaqueline
%A Manske, Eberhard
%@ 2520-8128
%D 2021
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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