%0 Generic
%T Graphenprozessierung auf 200mm Wafern für mikroelektronische Anwendungen (GIMMIK) Titel des Teilprojekts: In-situ und ex-situ Messtechnik für die Überwachung der Graphenherstellung : Abschlussbericht zu einem geförderten R&D-Projekt : Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2019-30.06.2022 : Berichtszeitraum: Gesamtzeitraum (Abschlussbericht)
%A Speiser, E.
%A Binetti, M.
%A Haberland, Kolja
%A LayTec AG
%A Haberland, Kolja
%7 Version 1.0
%I LayTec AG
%K Forschungsbericht
%D 22.12.2022
%X Förderkennzeichen BMBF 03XP0210B
%X Verbundnummer 01185293
%X Literaturverzeichnis: Seite 31
%C LayTec AG
%C Berlin
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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