%0 Book
%T Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik
%A Sommer, Martin H.
%I Shaker
%@ 3826575644
%K Hochschulschrift
%K Integrierte Optoelektronik
%K Mehrschichtleiterplatte
%K Wafer
%K Lithografie Halbleitertechnologie
%K Excimerlaser
%K Prozessanalyse
%D 2000
%C Shaker
%C Aachen
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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