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Generic
%T
Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle
%A Wiegand, Susanne
%K Hochschulschrift
%K Wafer
%K Chemisch-mechanisches Polieren
%K Stochastische Geometrie
%K Zufälliges Feld
%K Zufällige Menge
%D 2007
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2