%0 Book
%T Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen
%A Reuter, Danny
%I Universitätsverlag Chemnitz
%@ 9783941003071
%K Hochschulschrift
%K Dünnschichttechnik
%K Verkappen
%K Mikrostruktur
%K Opferschicht
%K Polymere
%K PECVD-Verfahren
%D 2009
%C Universitätsverlag Chemnitz
%C Chemnitz
%U https://katalog.slub-dresden.de/en/?cHash=d436d54d7a76fc6fe03d5b8c85ebf4cf&tx_find_find%5Baction%5D=citation&tx_find_find%5Bcontroller%5D=Search&tx_find_find%5Bid%5D=0-614317541&tx_find_find%5Btype%5D=endnote
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