%0
Generic
%T
Molecular dynamics simulations of Si, SiC and Si3N4 layered systems
%A Prskalo, Alen-Pilip
%A Schmauder, Siegfried
%I Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
%K Molekulardynamik ; Siliciumcarbid ; Zerstäubung ; Schicht
%K Nanoindentation
%K molecular dynamics
%K nanoindentation
%K coatings
%K sputtering
%K silicon carbide
%K Hochschulschrift
%D 2013
%C Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
%C Stuttgart
%U https://katalog.slub-dresden.de/en/?cHash=d436d54d7a76fc6fe03d5b8c85ebf4cf&tx_find_find%5Baction%5D=citation&tx_find_find%5Bcontroller%5D=Search&tx_find_find%5Bid%5D=13-1035757265&tx_find_find%5Btype%5D=endnote