%0
Generic
%T
Mechanical Properties of Thin Films Studied by Bulge Testing
%A Merle, Benoit
%A Göken, Mathias
%I Universitätsbibliothek der Universität Erlangen-Nürnberg
%K Dünne Schicht
%K Mechanische Eigenschaft
%K Size-Effekt
%K Nanometerbereich
%K Bulge-Test
%K Rasterkraftmikroskop
%K Mechanische Eigenschaft ; Dünne Schicht
%K Bulge Test
%K Mikromechanik
%K Größeneffekte Bulge Test
%K micromechanics
%K size effects
%K Hochschulschrift
%D 2013
%C Universitätsbibliothek der Universität Erlangen-Nürnberg
%C Erlangen
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2