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Generic
%T
Entwicklung und Herstellung von neuartigen Sonden für die elektrische und optische Rastersondenmikroskopie
%A Jambreck, Joachim Dietmar
%A Frey, Lothar
%I Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
%K Sonde
%K Rastersondenmikroskopie
%K Halbleiter
%K Elektrische Messtechnik
%K Optische Messtechnik
%K Rastersondenmikroskop
%K Sensor
%K Mikroelektronik
%K Nanotechnologie
%K Nanotechnology
%K Analytik
%K Analytics
%K Microelectronics
%K Scanning near field optical microscopy
%K SNOM
%K Optische Rasternahfeldmikroskopie
%K cAFM
%K Raster-Kapazitäts-Mikroskopie
%K Scanning capacitance microscopy
%K SCM
%K conductive AFM
%K Raster-Leitfähigkeits-Mikroskopie
%K UV-Nanoimprintlithographie
%K UV-nanoimprint lithography
%K Semiconductor
%K Fokussierter Ionenstrahl
%K Focused ion beam
%K FIB
%K Hochschulschrift
%D 2015
%C Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
%C Erlangen
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2