%0
Generic
%T
Programmierbare kapazitive MEMS-Mikrofone
%A Walser, Sebastian
%A Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
%A Kutter, Christoph
%A Kutter, Christoph
%A Feiertag, Gregor
%I Universitätsbibliothek der Universität der Bundeswehr München
%K MEMS
%K Mikrofon
%K Empfindlichkeit
%K Programmierung
%K Mikrofon ; MEMS ; Sensitivität ; Programmierung ; Simulation ; Hochschulschrift
%K MEMS, Mikrofon, Programmierbar, OTP, Verteilung, Sensitivität
%D 2018
%C Universitätsbibliothek der Universität der Bundeswehr München
%C Neubiberg
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2