%0
Generic
%T
Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung
%A Kühn, Michael
%I Universitätsbibliothek Chemnitz
%K Titan
%K Chrom
%K Zirkonium
%K Metalldampf
%K Vakuumlichtbogen
%K Plasmadiagnostik
%K optische Emissionsspektroskopie
%K Plasmadiagnostikverfahren
%K Metalldampfplasma
%K Katodenbrennfleck
%K Vakuumbogenverdampfung
%K Hartstoffschichten
%K physikalische Schichtabscheidung
%K Hochschulschrift
%D 1997
%C Universitätsbibliothek Chemnitz
%C Chemnitz
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2