%0 Generic
%T Kombination von zweiphotonenbasiertem direktem Laserschreiben mit großflächiger und hochpräziser Nanopositionierung
%A Mohr-Weidenfeller, Laura
%A Ilmenau Media Services
%A Manske, Eberhard
%A Reinhardt, Carsten
%A Bergmann, Jean Pierre
%I Universitätsverlag Ilmenau
%K Laserbeschriftung
%K Zweiphotonenabsorption
%K Positioniergenauigkeit
%K Nanotechnologie
%K Laser
%K Lithografie
%K (BISAC Subject Heading)NAT000000
%K Laserschreiben
%K Zwei-Photonen-Lithographie
%K Nanopositionierung
%K Hochschulschrift
%D 2020
%X In: Ilmenau : Universitätsverlag Ilmenau
%C Universitätsverlag Ilmenau
%C Ilmenau
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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