%0 Generic
%T Development of industry-scalable processes for nanocrystalline silicon oxide in silicon heterojunction solar cells
%A Qiu, Depeng
%A Rau, Uwe
%A Vescan, Andrei
%I Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
%K Dünne Schicht
%K Heterosolarzelle
%K PECVD-Verfahren
%K Silicium
%K Dünnschichtsolarzelle
%K Siliciumoxide
%D 2023
%C Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
%C Aachen
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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