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Generic
%T
Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik
%A Wibbeler, Jürgen
%K Vibrationssensor
%K Oberflächenmontage
%K Eigenfrequenz
%K Abstimmung
%K Resonator
%K Nichtlineare Schwingung
%K Mikromechanik ; Vibrationssensor ; Nichtlineare Schwingung ; Kapazitiver Sensor ; Resonanz
%K Hochschulschrift
%K Abstimmung Frequenz
%D 2002
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2