%0 Book
%T Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
%A Hilleringmann, Ulrich
%I VDI-Verl.
%@ 3181482099
%K Hochschulschrift
%K CMOS-Schaltung
%K SOI-Technik
%K Dreidimensionale Integration
%K Rekristallisation
%D 1988
%X Literaturverz. S. 133 - 146
%C VDI-Verl.
%C Düsseldorf
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation