author = { Bütje, Rolf },

title = { Abtragen von Metallen mit Excimer-Lasern als Verfahren zur Mikrobearbeitung },

edition = { Als Ms. gedr. } ,

publisher = {VDI-Verl.},

isbn = {3181448028},

keywords = { Hochschulschrift , Metallfolie , Abtragen , Excimerlaser , Metallschicht },

year = {1992},

booktitle = {Fortschritt-Berichte / VDI ; Reihe 2, Fertigungstechnik ; 248},

booktitle = {Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover},

booktitle = {IFW-Produktionstechnik},

address = { Düsseldorf },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }