author = { Müller, Karl Paul },

title = { Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen },

edition = { Als Ms. gedr } ,

publisher = {VDI-Verl.},

isbn = {3181400092},

keywords = { Hochschulschrift , Gold , Dünne Schicht , Sputtern , Ionenstrahl , Einfallwinkel },

year = {1990},

booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 100},

address = { Düsseldorf },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }