TY -
BOOK
AU - Müller, Karl Paul
TI -
Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen
ET - Als Ms. gedr
PB - VDI-Verl.
SN - 3181400092
KW - Hochschulschrift
KW - Gold
KW - Dünne Schicht
KW - Sputtern
KW - Ionenstrahl
KW - Einfallwinkel
PY - 1990
BT - Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 100
CY - Düsseldorf
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -