author = { Krause, Stephan Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg },

title = { Selektive und eingeschlossene Laserablation von TCO- und dünnen Si-Schichten mit kurzen (ns) und ultrakurzen Pulsen (ps, fs) },

publisher = {Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS},

keywords = { Hochschulschrift , Laserablation , Raman-Spektroskopie , Transparent-leitendes Oxid , Silicium , Mehrschichtsystem , Durchstrahlungselektronenmikroskopie , Phasenumwandlung , Amorpher Zustand , Kristall , Strahlenschaden },

year = {Mai 2018},

address = { Halle (Saale) },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }