%0 Book
%T Selektive und eingeschlossene Laserablation von TCO- und dünnen Si-Schichten mit kurzen (ns) und ultrakurzen Pulsen (ps, fs)
%A Krause, Stephan
%A Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg
%I Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
%K Hochschulschrift
%K Laserablation
%K Raman-Spektroskopie
%K Transparent-leitendes Oxid
%K Silicium
%K Mehrschichtsystem
%K Durchstrahlungselektronenmikroskopie
%K Phasenumwandlung
%K Amorpher Zustand
%K Kristall
%K Strahlenschaden
%D Mai 2018
%C Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
%C Halle (Saale)
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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