TY -
BOOK
AU - Krause, Stephan
AU - Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg
TI -
Selektive und eingeschlossene Laserablation von TCO- und dünnen Si-Schichten mit kurzen (ns) und ultrakurzen Pulsen (ps, fs)
PB - Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
KW - Hochschulschrift
KW - Laserablation
KW - Raman-Spektroskopie
KW - Transparent-leitendes Oxid
KW - Silicium
KW - Mehrschichtsystem
KW - Durchstrahlungselektronenmikroskopie
KW - Phasenumwandlung
KW - Amorpher Zustand
KW - Kristall
KW - Strahlenschaden
PY - Mai 2018
CY - Halle (Saale)
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -