@book {TN_libero_mab2,
author = { Schubert, Johannes },
title = { Untersuchungen zur Kinetik der Abscheidung von TiN-Schichten mit reaktiven PVD-Verfahren },
publisher = {Max-Planck-Inst. f. Metallforschung},
keywords = { Hochschulschrift , Forschungsbericht },
year = {1996},
booktitle = {Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart ; 14},
address = { Stuttgart },
url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }
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