@book
{TN_libero_mab2,
author = {
Schubert, Johannes
},
title = {
Untersuchungen zur Kinetik der Abscheidung von TiN-Schichten mit reaktiven PVD-Verfahren
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publisher = {Max-Planck-Inst. f. Metallforschung},
keywords = {
Hochschulschrift
,
Forschungsbericht
},
year = {1996},
booktitle = {Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart ; 14},
address = {
Stuttgart
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url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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