%0 Book
%T Untersuchungen zur Kinetik der Abscheidung von TiN-Schichten mit reaktiven PVD-Verfahren
%A Schubert, Johannes
%I Max-Planck-Inst. f. Metallforschung
%K Hochschulschrift
%K Forschungsbericht
%D 1996
%C Max-Planck-Inst. f. Metallforschung
%C Stuttgart
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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