author = { Müller, Dietmar },

title = { Bestimmung der Haftung von magnetron-gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten mit einem bruchmechanischen Verfahren },

publisher = {Univ.},

keywords = { Hochschulschrift , Dünne Schicht , Magnetronsputtern , Titannitrid , Adhäsion , Bruchmechanische Prüfung , Aluminium },

year = {1996},

booktitle = {Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart ; 16},

address = { Stuttgart },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }